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UV-induzierbarer abziehbarer Klebstoff auf Basis von Rizinusöl und Acrylcopolymeren mit Siloxan- und Benzophenongruppen
Eine neue UV-induzierbare, abziehbare Klebstofflösung kombiniert Rizinusöl-basiertes Urethanacrylat und Acrylcopolymere mit Siloxan- und Benzophenongruppen, um die Abziehleistung bei Wafer-Trennprozessen zu optimieren.
Die Verbesserung von UV-induzierbaren, abziehbaren druckempfindlichen Klebstoffen (PSA) spielt eine entscheidende Rolle bei der Steigerung der Zuverlässigkeit von Wafer-Trennprozessen. Forscher haben eine innovative Lösung entwickelt, die die Funktionalität und Effizienz dieser Klebstoffe erheblich verbessert.
Ein Rizinusöl-basiertes Urethanacrylat-Oligomer mit hoher Acrylat-Funktionalität wurde synthetisiert, das sowohl UV- als auch wärmehärtende Eigenschaften aufweist. Durch die Kombination mit einem Acrylcopolymer, das Siloxan- und Benzophenongruppen enthält, wurde ein UV-induzierbarer, abziehbarer Klebstoff geschaffen. Die kovalente Bindung dieser Gruppen verbessert die Abziehleistung erheblich, indem sie die Klebstoffstruktur unter UV-Bestrahlung stark vernetzen und die Haftfestigkeit auf nur 0,07 N/25 mm reduzieren.
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Optimierte Abziehleistung und strukturierte Vernetzung
Das Acrylcopolymer (PSA-ABP-MATS) erreichte bei einem Benzophenongehalt von 2,8 Gew.-% und einem Siloxangehalt von 1,7 Gew.-% eine Abziehfestigkeit von 10,1 N/25 mm, im Vergleich zu 6,2 N/25 mm bei einem Copolymer ohne diese Gruppen. Die Kombination von UV-induzierter radikalischer Polymerisation und fotochemischer Vernetzung mit Benzophenon führte zu einer hochvernetzten Klebstoffschicht, die eine robuste Haftung und gleichzeitig eine einfache Entfernung ermöglicht.
Diese Ergebnisse zeigen, dass die gezielte chemische Modifikation mit Siloxan- und Benzophenongruppen die Abziehleistung von UV-induzierbaren Klebstoffen erheblich verbessern kann, was sie zu einer effizienten Lösung für die Anforderungen in der Halbleiterindustrie macht.
Quelle: Yi, S. et al., UV-induced peelable adhesive prepared by castor oil-based urethane acrylate oligomer and acrylic copolymer containing siloxane and benzophenone groups. Prog. Org. Coat. 2025, 109666.
